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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心測溫儀半導(dǎo)體&薄膜測溫Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)

Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)
產(chǎn)品簡介：

Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程，應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片，外延，晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力，支持高達(dá)2kHz的讀取速率，符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格的要求。

其采用模塊化設(shè)計(jì)，可快速量身定制。

產(chǎn)品廠地：上海市

更新時間：2025-01-14

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：738

服務(wù)熱線

021-52966696

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產(chǎn)品介紹

主要特性

優(yōu)點(diǎn):

  • 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

  • ·提高多個腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


特點(diǎn):

  • ·主動輻射率檢測和補(bǔ)償

  • 溫度和輻射率讀取速率快

  • ·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

  • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


技術(shù)參數(shù)：

概述:多通道，高性能，測量速度高達(dá)2kHz
通道配置:1-4通道，帶可選/固定發(fā)射系數(shù)，每個通道可單獨(dú)配置
測溫范圍:50-3500°C
實(shí)時發(fā)射系數(shù)范圍:無
測量波長:UV to 2300 nm
讀取速率:高達(dá)2kHz
測量精度:±1.5℃
重復(fù)精度:±0.1℃℃，正常情況下
分辨率:0.001℃C
顯示:帶鍵盤輸入內(nèi)置，4x21LCD屏，
數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/486, and Ethernet
模擬輸出:0-10V或4-21mA
控制接口:外部觸發(fā)輸入，同步輸出，高低報警
電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數(shù):5-40℃，非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
重量:2.0kg
安裝:底部M3X0.75螺孔
采樣響應(yīng)時間:2kHz采樣速率時<2ms




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