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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心測溫儀半導(dǎo)體&薄膜測溫Sekidenko OR400M半導(dǎo)體外延片測溫儀

Sekidenko OR400M半導(dǎo)體外延片測溫儀
產(chǎn)品簡介：

Sekidenko OR400M半導(dǎo)體外延片測溫儀產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴(kuò)展至3.3um-5.2um的中紅外波長范圍。OR400M可進(jìn)行單通溫度測量，用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測量，用于硅片，腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設(shè)計緊湊，易于集成，可滿足許多工藝應(yīng)用的要求。

產(chǎn)品廠地：上海市

更新時間：2025-01-14

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：814

服務(wù)熱線

021-52966696

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產(chǎn)品介紹

OR400M外延片測溫儀

主要特性

優(yōu)點(diǎn):

  • 溫度范圍為50℃C至1300℃

  • 讀取速率高達(dá)250Hz

  • 單通道配置可選/固定發(fā)射率

  • 高速、固態(tài)檢測器

  • 可配置的過濾器、檢測器和光學(xué)傳輸系統(tǒng)

  • RS-232連接模式


應(yīng)用：

  • 適用于半導(dǎo)體外延，太陽能薄膜和玻璃類工藝


技術(shù)參數(shù)：

通道配置:帶可選/固定發(fā)射系數(shù)的單通道溫度測量
測溫范圍:50-1300℃
測溫波長:3.3 和 5.2 um
讀取速率:高達(dá)250 Hz
測量精度:±3℃℃
重復(fù)精度:±0.1℃℃，正常情況下
分辨率:0.01°C
顯示:無，可通過RS232設(shè)置
數(shù)據(jù)I/O:US232,可達(dá)115kB
模擬輸出:0-10V或4-20mA
電源:交流:90 to 263 VAC,47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數(shù):18-40℃，非冷凝
物理尺寸:32 mm (H)x 57 mm (W)x 235 mm (D)
重量:0.39kg
安裝:框架安裝、安裝孔安裝等








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