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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心測(cè)溫儀半導(dǎo)體&薄膜測(cè)溫Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計(jì)

Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計(jì)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計(jì)能夠自動(dòng)探測(cè)測(cè)量材料發(fā)射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過(guò)程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能，并且兼具實(shí)時(shí)輻射率補(bǔ)償?shù)膬?yōu)點(diǎn)。其采用塊化設(shè)計(jì)，可快速量身定制，滿足不同的的工藝應(yīng)用要求。

產(chǎn)品廠地：上海市

更新時(shí)間：2025-01-14

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：746

服務(wù)熱線

021-52966696

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產(chǎn)品介紹

主要特性

優(yōu)點(diǎn):


  • 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差

  • 提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

  • 提高多個(gè)腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


特點(diǎn):

  • ·主動(dòng)輻射率檢測(cè)和補(bǔ)償

  • 溫度和輻射率讀取速率快

  • ·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

  • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


技術(shù)參數(shù)：

概述:實(shí)時(shí)，雙通道，在測(cè)量過(guò)程中能實(shí)時(shí)測(cè)量材料發(fā)射系數(shù)并糾正，補(bǔ)償測(cè)量溫度，測(cè)量速度高達(dá)2kHz
通道配置:1-2通道，透過(guò)脈沖發(fā)射器實(shí)時(shí)糾正發(fā)射系數(shù)，每個(gè)通道可單獨(dú)配置
測(cè)溫范圍:50-3500°C
實(shí)時(shí)發(fā)射系數(shù)范圍:0.03 至 1.0
測(cè)量波長(zhǎng):UV to 2300 nm
讀取速率:高達(dá)2kHz,在實(shí)時(shí)發(fā)射系數(shù)自糾正溫度測(cè)量模式下可達(dá)500Hz
測(cè)量精度:±1.5℃
重復(fù)精度:±0.1℃℃，正常情況下
分辨率:0.001°C
顯示:內(nèi)置，4x20LCD屏，帶鍵盤輸入
數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/485,and Etherne
模擬輸出:t0-10V或4-20mA
控制接口:外部觸發(fā)輸入，同步輸出，高低報(bào)警
電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數(shù):5-40℃，非冷凝
物理尺寸:8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D)
重量:2.0kg
安裝:底部M3 X0.75螺孔
采樣響應(yīng)時(shí)間:2kHz采樣速率時(shí)<2ms




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