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MPCVD工藝中,通過微波激勵(lì)產(chǎn)生等離子體,進(jìn)而在襯底上形成金剛石膜。這一過程中,測(cè)溫面臨以下難題:
等離子云干擾: 被測(cè)物被等離子云包裹,測(cè)溫儀需具備穿透能力,準(zhǔn)確測(cè)量目標(biāo)溫度。
高穩(wěn)定性與重復(fù)性需求: 工藝中對(duì)溫度變化的敏感度高,設(shè)備需要確保測(cè)量數(shù)據(jù)的一致性。
襯底材料多樣性: 同質(zhì)外延與異質(zhì)外延對(duì)測(cè)溫的適配性提出更高要求。
視窗材料選擇: 真空爐的視窗材料可能對(duì)紅外信號(hào)產(chǎn)生阻礙,需針對(duì)性優(yōu)化解決方案。
針對(duì)測(cè)溫瞄準(zhǔn)困難的問題,IMPAC紅外測(cè)溫儀的視頻瞄準(zhǔn)模式成為理想選擇。
直觀視頻顯示: 通過視頻窗口傳輸實(shí)時(shí)圖像,清晰瞄準(zhǔn)目標(biāo)。
激光與可見光雙重保障: 適用于高亮目標(biāo)或復(fù)雜安裝場(chǎng)景。
多參數(shù)適配: 提供靈活調(diào)整功能,滿足不同工藝環(huán)境需求。
實(shí)時(shí)記錄與存儲(chǔ): 可保存測(cè)溫視頻,用于后續(xù)分析。
作為IMPAC系列的明星產(chǎn)品,IGAR 6在高溫工藝中展現(xiàn)了出色的性能:
寬溫度范圍: 能適應(yīng)從低溫到高溫的多種場(chǎng)景。
高精準(zhǔn)性與重復(fù)性: 保證工藝穩(wěn)定運(yùn)行,減少誤差。
視窗污染警報(bào)功能: 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)視窗狀態(tài),確保測(cè)溫準(zhǔn)確性。
高速響應(yīng)時(shí)間: 僅2ms,輕松捕捉動(dòng)態(tài)溫度變化。
頂級(jí)手動(dòng)光學(xué)聚焦: 確保測(cè)量的靈活性與準(zhǔn)確性。
堅(jiān)固耐用: 不銹鋼材質(zhì)傳感器,防護(hù)等級(jí)達(dá)IP65/NEMA4,適應(yīng)惡劣工業(yè)環(huán)境。
真空高溫爐
在真空高溫環(huán)境中,紅外測(cè)溫儀能夠精準(zhǔn)應(yīng)對(duì)復(fù)雜視窗材料和動(dòng)態(tài)溫度變化。
微波等離子沉積工藝
通過穿透等離子干擾,準(zhǔn)確測(cè)量襯底溫度,保障金剛石膜的均勻沉積與質(zhì)量。
其他高溫工業(yè)場(chǎng)景
如金屬熱處理、陶瓷燒結(jié)、高溫焊接等,IMPAC紅外測(cè)溫設(shè)備都能高效勝任。
作為IMPAC設(shè)備的國(guó)內(nèi)代理商,上海明策不僅提供高性能的測(cè)溫設(shè)備,還為用戶提供從方案設(shè)計(jì)、安裝調(diào)試到后續(xù)維護(hù)的一站式服務(wù),幫助客戶在嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境中實(shí)現(xiàn)更高效、更精準(zhǔn)的溫度控制。
如需進(jìn)一步了解產(chǎn)品詳情或定制解決方案,歡迎聯(lián)系上海明策!